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钼钽靶材
产品介绍
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高性能钨基靶材
产品特性:
1.高密度与组织均匀性:我们生产的钨合金靶材具备极高的密度和组织均匀性,确保溅射过程中获得的薄膜质量卓越。2. 低电阻与高耐热性:溅射所得的钨薄膜展现出低电阻和高耐热等特性,适用于对材料性能要求严苛的应用场景。
3. 定制形状与高纯度:提供钨、钨钛(WTi)、钨硅等多种靶材,形状可根据客户需求定制,纯度可达钨(5N)、钨钛(4N5)、钨硅(4N5)级别。
应用领域:
1.半导体及电子技术:钨薄膜在半导体工业中用作栅电极或布线材料,满足集成度、可靠性、功能特性和处理速度等日益增长的需求。钨硅靶材则应用于存储器(如DRAM)中,作为有效的栅极欧姆接触层。
2.电光源:钨合金靶材在电光源领域同样具有广泛应用,为照明设备提供关键材料支持。
3.汽车工业与航空航天:在高端制造领域,钨基靶材因其优异的性能而备受青睐,为汽车工业和航空航天领域的创新提供有力支撑。
特定应用亮点:
1.钨钛(WTi)薄膜:作为Al和Si之间的有效扩散阻挡层,主要通过物理气相沉积(PVD)技术,利用磁控溅射WTi合金靶材获得。高纯度和高密度的WTi合金靶材,满足复杂集成电路扩散阻挡层可靠性的要求。
2.钨硅靶材:在半导体领域,特别是在存储器制造中,钨硅靶材通过PVD技术制备的钨硅薄膜,充当关键的栅极欧姆接触层,对薄膜性能产生至关重要的影响。
产品形态与纯度:
1.形态:提供多种形态的钨、钨钛、钨硅靶材,形状可根据具体需求进行定制。
2.纯度:确保钨合金靶材的高纯度,满足不同行业和应用对材料纯净度的严格要求。
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